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Defect Reduction Study of MBE Grown CdTe Thin Films by Annealing Förderungs- und Betriebs GmbH da mit dem Produkt selbstMBE grown CdTe thin films were annealed in this study to decrease the number density of defects. For annealing, a system was designed and constructed. During anneals; anneal temperature, anneal time, anneal cycle and hydrogen gas effects were analyzed. The effects of annealing parameters were analyzed by SEM, AFM, Everson Etch method, resonance Raman spectroscopy, and Photoluminescence measurement. In our studies, dislocation density and Te