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Materials & Process Integration for MEMS formatIsbn:Hardcover - 9781402071751 verlässliche Leistungen gesichert und derThe field of materials and process integration for MEMS research has an extensive past as well as a long and promising future. Researchers, academicians and engineers from around the world are increasingly devoting their efforts on the materials and process integration issues and opportunities in MEMS devices. These efforts are crucial to sustain the long term growth of the MEMS field. The commercial MEMS community is heavily driven by the push for